欧司朗将采用Veeco的MOCVD设备

近日，Veeco宣布欧司朗光电半导体认证通过了其Lumina MOCVD系统，并将采用此系统生产高端LED产品，助力下一代先进光子器件的开发。

欧司朗光电半导体的首席运营官Lothar Mergili称，欧司朗的发展核心就是在需要创新和重新定义技术限制的的下一代先进光子技术领域保持领先地位。

Mergili指出，事实证明Lumina MOCVD系统在生产率方面设定了新的标准，可满足甚至超过市场要求。Veeco的先进MOCVD技术对于欧司朗而言，发挥着重要作用，未来也是如此。

Veeco介绍，新型Lumina系统是基于20多年的大容量MOCVD专业技术开发的，并拥有公司核心TurboDisc技术的可靠性能。为了开发下一代器件，欧司朗等领先企业追求高品质薄膜技术，出色的一致性和可重复性，以及无可比拟的购置成本，而这些Lumina都能够满足。

Lumina系统的核心就是Veeco的MOCVD TurboDisc技术，该技术专用于实现高一致性和缺陷最少化，能够在直径达8英寸的晶圆上沉积高质量的AsP外延层。

此外，Lumina系统还可用于定制用户的系统，以在量产IRED(红外发光二极管)、LED、EEL(边发射激光器)和VCSEL(垂直腔面发射激光器)等产品的过程中实现价值最大化。

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