作为电子信息产业的核心,半导体产业已成为推动社会进步、增进生活福祉的科技“大脑”。
半导体产业主要包括集成电路、光电子器件、分立器件和传感器件等,其中集成电路在整个产业中占比最高,超过80%。
不过,围绕半导体芯片的制造生产过程,确是一个高能耗行业,对能源、水、化学品和原材料的要求,非常严格。一旦处理不好,就会对电能生产、水资源利用、青山绿水的人居环境,造成破坏性影响。
能否鱼与熊掌兼得,既享受到由半导体芯片产业进步带来的生活便利舒适,同时也不影响到适合人居的美好环境?这是个非常真实的沉甸甸课题。
不管是哪个行业,工业生产制造的最后,总免不了水、气、以及其他固定废弃物的排放。继前面几期持续探讨半导体行业如何节能减排的主题后,本期我们关注:半导体材料公司在处理废弃物方面,能否做到循环利用?
半导体公司如何处理生产废弃物?
材料是半导体产业的基石:一代技术,依赖于一代工艺;一代工艺,则依赖一代材料和设备去实现。
可以说,围绕半导体材料的开发研制和生产制造,奠定了半导体芯片产业的物理基石。
根据芯片的制造过程和应用领域,半导体材料主要分为三块:基体材料、制造材料和封装材料。
其中,基体材料用来制造硅晶圆或化合物半导体;制造材料是将硅晶圆或化合物半导体、加工成芯片所需的各类材料;封装材料则是将制得的芯片在封装切割过程中所需用到的材料。
进一步细分,根据芯片材质不同,基体材料主要分为硅晶圆和化合物半导体。硅晶圆的使用范围最广,在集成电路制造过程中最为重要。而硅晶圆片全部采用单晶硅片,对硅料纯度要求高,一般要求纯度在99.9999999%以上,因此制造壁垒很高:化合物半导体主要是指砷化镓(GaAs)、氮化镓(GaN)、碳化硅(SiC)等第二、三代半导体。
制造材料方面,则包括了光刻胶、溅射靶材、抛光材料、电子特气、掩膜版、湿电子化学品等。
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