2024年11月4日消息,国家知识产权局信息显示,北京旭灿半导体科技有限公司取得一项名为“气体循环装置和晶体生长系统”的专利,授权公告号 CN 221940690 U,申请日期为 2023年12月。
专利摘要显示,本申请提供一种气体循环装置和晶体生长系统。气体循环装置,包括热交换器、压缩机、冷却环、第一流量计、浮球流量计和真空泵,热交换器具有进口和出口,出口与进口通过第一管路连通;压缩机设置在第一管路上,用于对其他进行压缩;冷却环设置在第一管路上,且位于热交换器的出口与压缩机之间,用于对第一管路中的气体进行冷却降温;第一流量计设置在第一管路上,且位于压缩机与热交换器进口之间,用于控制第一管路内气体的流量;浮球流量计设置在第一流量计与热交换器进口之间,用于显示第一流量计与热交换器之间是否具有气体;真空泵一端与第一管路的第一区域通过第二管路连通,第二端与外部连通,以用于将第一管路中的气体排空。
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